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在真空烧结炉使用中遇到三种情况可以采取应急措施
来源: | 作者:sagerfurnace | 发布时间: 2023-06-13 | 1173 次浏览 | 分享到:

　真空烧结炉是半导体专用设备系列中的一种新型工艺设备，可进行真空烧结、气体保护烧结和常规烧结。它具有设计新颖、操作方便、结构紧凑等优点。它可以在一台设备上完成多个工艺流程。在真空烧结炉使用中遇到以下三种情况可以采取的应急措施。

　　一、停电
　　1、停电时，如果断水，应立即接通备用的冷却水，接通水源。
　　2、如果在非升温、加热和冷却时，能够尽快恢复时，重新启动设备，继续运转如需要较长时间，则将设备保持原状。
　　3、如果正在加热和冷却时，能够尽快恢复时，重新启动设备，如果需要较长时间时，则保持原状，让设备自然冷却下来。
　　二、加热电源掉电
　　1、水压低，当水压低于0.15MPa，压力表报警。
　　2、接地故障。
　　3、真空放电，水冷电极接头与加热器连接处必须连接牢固，与反射屏绝缘要好。
　　4、若炉内压力为13.3-66.5Pa时(此真空度容易发生放电)。电源出现故障，掉电的原因可以认为由于电介质击穿而引起的放电。
　　三、充气气体停止
　　1、抽真空开始前，气体充入时间长或者无法充入时，请确认气体管路是否被堵塞。
　　2、如气体管路没问题，检查电磁阀及气体充气阀的动作，为了安全与其相关联的设备要全部停止后再进行检查。
　　3、向真空室内充气不能停止的情况下，泄压阀动作如泄压阀动作时，要关闭气体供给阀及配管在内的所有气体系统。
　　4、确认气体充气配管是否有漏气的地方，如有会影响制品质量。


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